글러브 박스

정화 및 층류 시스템을 갖춘 태양전지 단일 및 이중 스테이션 작업용 글로브박스

품목 번호 : ST09

가격은 다음을 기준으로 달라집니다 사양 및 사용자 정의

수분 및 산소 순도 수준: < 0.1 ppm
불활성 가스 순환 유량: 90 m³/h (가변 주파수 드라이브)
클린룸 여과 표준: ISO 4 / Class 10 (0.2–0.45 m/s 층류)

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제품 개요

정화 및 층류 시스템을 갖춘 태양전지 단일 및 이중 스테이션 작업용 글로브박스 1

제품 이미지 1

이 고성능 다중 워크스테이션 글로브박스 시스템은 독립적인 이중 스테이션 유닛과 단일 스테이션 유닛을 엔지니어링된 대형 및 소형 T형 전달 챔버를 통해 상호 연결합니다. 단면 작업용으로 설계된 이 장비는 폐쇄 루프 가스 정화 컬럼을 기반으로 중단 없는 밀폐형 공정 환경을 제공합니다. 표준 작동 매개변수 하에서 수분 및 산소 농도를 0.1ppm 미만으로 유지함으로써, 이 시스템은 민감한 합성 및 조립 워크플로우에 필수적인 초청정 불활성 질소 또는 아르곤 분위기를 제공합니다.

차세대 태양전지 제조, 페로브스카이트 연구, 유기 태양전지(OPV), 박막 증착 및 리튬 배터리 프로토타이핑을 위해 특별히 설계된 이 워크스테이션은 대기 오염 위험 없이 복잡한 다단계 공정을 지원합니다. 구조적 레이아웃은 챔버의 오목한 측면에 통합 진공 증착 또는 열 증발기 인터페이스를 직접 장착할 수 있도록 하여, 외부 공기 노출 없이 코팅 및 조립 단계 간의 원활한 기판 이동을 가능하게 합니다.

정밀 가공된 플랜지 뷰포트와 자동 PLC 모니터링 기능을 갖춘 두꺼운 304 스테인리스 스틸로 제작된 이 유닛은 탁월한 작동 안정성과 초저 누설률을 제공합니다. 고효율 미립자 공기 여과, 동적 챔버 압력 조절 및 통합 폐쇄 루프 냉각 기능의 결합으로 까다로운 연속 연구 및 파일럿 규모의 산업 제조 과정에서 공정 일관성을 보장합니다.

주요 특징

이중 챔버 상호 연결 구조: 1800mm 이중 스테이션 챔버와 1220mm 단일 스테이션 챔버가 고진공 T형 전달 챔버를 통해 연결되어 양방향 기판 이동과 코팅, 조립, 테스트를 위한 전문적인 구역 설정이 가능합니다.
초고순도 가스 정화 유닛: 5kg의 구리 촉매와 5kg의 분자체(Molecular Sieve)가 충전된 단일 컬럼 정화 시스템은 높은 제거 용량(60L O2, 2kg H2O)을 달성하여 불순물을 0.1ppm 미만으로 안정적으로 유지합니다.
통합 증발 시스템 인터페이스: 왼쪽 챔버는 표준 열 또는 박막 코팅 시스템을 불활성 작업 공간에 직접 장착할 수 있는 특수 내부 홈과 전용 진공 인터페이스를 갖추고 있습니다.
ISO 4 하향 층류 여과: 상단 장착형 클린룸 여과 유닛은 H13~U15 HEPA/ULPA 필터와 조절 가능한 송풍기(0.2~0.45m/s 면속도)를 사용하여 지속적인 차압 모니터링과 함께 US FED STD 209E Class 10의 먼지 없는 층류 환경을 제공합니다.
독립형 통합 냉각 시스템: 내장된 1050W 폐쇄 루프 냉동 유닛과 스탠드형 분할 로터리 압축기는 기계적 진동을 차단하는 동시에 글로브박스 내부 온도를 15°C에서 36°C 사이로 1°C 정밀도로 조절합니다.
고정밀 다중 포트 안테챔버: 3도어 수직 리프트 메커니즘을 갖춘 자동 대형 T-챔버, 수동 소형 T-챔버, 그리고 연결된 모듈의 교차 오염 없이 신속하게 재료를 도입할 수 있는 외부 미니 안테챔버가 포함되어 있습니다.
지능형 지멘스 PLC 자동화: 고해상도 터치스크린 인터페이스를 통해 자동 재생 주기, 자동 퍼지 루틴, 챔버 압력 밸런싱(±15mbar 작동 범위, ±16mbar 자동 보호) 및 실시간 데이터 로깅을 관리합니다.
온라인 분석 계측기: 0.1ppm 분해능을 제공하는 초민감 알루미나 세라믹 박막 수분 센서와 0~1000ppm 범위에서 프로그래밍 가능한 한계 경보 기능을 갖춘 전기화학 산소 분석기가 장착되어 있습니다.
용매 증기 흡착: 퀵 체인지 유기 용매 증기 트랩은 전해질 처리나 스핀 코팅 중에 발생하는 유해하고 휘발성인 유기 화합물(VOCs)을 포집하여 촉매 정화 베드를 보호합니다.
밀폐형 구조 및 인체공학: 3mm 브러시 마감 304 스테인리스 스틸, 8mm 강화 안전 유리 경사 뷰 윈도우, 일체형 가공 밀봉 플랜지, 알루미늄 글로브 포트 및 피로 없는 작업을 위한 프리미엄 32인치 부틸 글로브로 제작되었습니다.

응용 분야

응용 분야	설명	주요 이점
페로브스카이트 및 유기 태양전지	수분 및 산소에 민감한 할로겐화 페로브스카이트 전구체 용액 합성, 기판 스핀 코팅 및 셀 패키징.	ISO 4 무진 층류 환경에서 H2O와 O2를 0.1ppm 미만으로 유지하여 유기-무기 페로브스카이트 층의 급격한 열화를 방지합니다.
통합 진공 열 증착	오목한 챔버 포트를 통해 준비 스테이션에서 부착된 열 코팅기로 패턴화된 기판을 직접 원활하게 이동.	중요한 금속 전극(Ag/Al/Au) 및 전하 수송층 증착 단계에서 공기 노출을 제거합니다.
전고체 배터리 조립	리튬 금속 음극, 황화물 기반 고체 전해질 취급 및 밀폐형 셀 크림핑.	반응성 고체 전해질 분말의 가수분해를 완화하고 낮은 주변 수분을 유지하면서 유독 가스 발생을 방지합니다.
유기 발광 다이오드(OLED)	발광 고분자 제형, 저분자 잉크 준비 및 캡슐화 공정.	입자 결함 및 미량의 대기 산화제가 없는 초청정 환경을 유지하여 장치 작동 수명을 연장합니다.
첨단 반도체 및 박막 R&D	2D 전이 금속 디칼코게나이드(TMDs), 양자점 및 반응성 유기 금속 화합물 처리.	진동이 감쇠된 열 안정화(15–36°C)와 분리된 워크스테이션 간의 신속한 재료 이동을 제공합니다.
공기 민감성 화학 합성	자연 발화성 촉매, 금속 알킬 및 수분 경화성 수지의 취급, 계량 및 보관.	자동 챔버 압력 제어, 퀵 체인지 용매 트랩 및 안전 인터록을 통해 작업자 안전과 제품 무결성을 보장합니다.

기술 사양

시스템 카테고리	매개변수	사양 (ST09)
모델 식별자	시스템 명칭	ST09
대기 순도	수분(H2O) 기준	< 0.1 ppm (20°C, 1 atm, 99.999% 불활성 가스 공급 시)
	산소(O2) 기준	< 0.1 ppm (20°C, 1 atm, 99.999% 불활성 가스 공급 시)
	전체 누설률	≤ 0.001 vol%/h
메인 챔버 치수	스테이션 1 (이중 스테이션) 공칭 크기	1800 mm (L) × 750 mm (D) × 900 mm (H)
	스테이션 2 (단일 스테이션) 공칭 크기	1220 mm (L) × 750 mm (D) × 900 mm (H)
	챔버 벽 재질 및 두께	SUS304 스테인리스 스틸, 3.0 mm 두께
	챔버 표면 마감	내부: 브러시 마감; 외부: 흰색 스프레이 도장
	진공 코터 통합	전용 증발기 장착 인터페이스가 있는 오목한 왼쪽 챔버 형상
뷰 윈도우 및 글로브	전면 윈도우 구조	플랜지 일체형 프레임, O-링 진공 씰, 8 mm 강화 안전 유리, 경사각
	글로브 포트	이중 O-링 밀봉 홈이 있는 고강도 알루미늄 합금
	글로브 사양	헤비듀티 부틸 고무, 직경: 8" (203 mm), 길이: 32" (812 mm)
	내부 작업 공간 보관	통합 3단 조절식 SUS304 스테인리스 스틸 선반 유닛
	조명 및 피드스루	상단 장착형 LED 조명 어레이; 다중 블라인드 DN 40 KF 포트; 1× 내부 220V 전원 공급
가스 정화 시스템	정화 컬럼 구성	단일 컬럼 정화 유닛, 밀폐형 SUS304 스테인리스 스틸 케이싱
	작동 가스 호환성	고순도 질소(N2) / 아르곤(Ar)
	정화 재료 적재량	5 kg 구리 촉매(탈산소) + 5 kg 분자체(수분 흡착)
	총 정화 용량	산소 제거: 60 L; 수분 제거: 2000 g (2 kg)
	순환 송풍기 유량	가변 주파수 드라이브(VFD)가 포함된 90 m³/h 통합 송풍기
	컬럼 재생 제어	완전 자동 PLC 루틴; 재생 가스: 작동 가스 + 5–10% H2 혼합물
	용매 증기 정화	고효율 퀵 체인지 유기 용매 증기 흡착 트랩
입자 및 청결도 제어	클린룸 청결도 등급	Class 10 (US FED STD 209E) / ISO 4 (ISO 14644-1)
	여과 매체 등급	HEPA H13~ULPA U15 고효율 하향 여과 시스템
	층류 속도	조절 가능한 송풍기 제어를 통해 0.2 m/s ~ 0.45 m/s 사이 제어
	차압 모니터링	적시 교체를 위한 필터 요소 전반의 아날로그 차압 게이지
온도 제어 시스템	냉각 메커니즘	분할 스탠드형 로터리 압축기가 있는 통합 초청정 열교환기
	온도 설정 범위	15°C ~ 36°C (연속 폐쇄 루프 PID 제어)
	온도 표시 정확도	1°C
	정격 냉각 용량 및 전력	냉각 용량: 1050 W; 소비 전력: 640 W
대형 T형 안테챔버	챔버 치수	직경: 360 mm, 길이: 700 mm (SUS304 스테인리스 스틸)
	도어 구성	수직 기계식 리프트 메커니즘이 있는 3× 아노다이징 알루미늄 도어 (10 mm 두께)
	작동 및 트레이	터치스크린 구동 자동 솔레노이드 밸브; 슬라이딩 SUS304 스테인리스 스틸 트레이
	기능	양쪽 챔버 연결; 왼쪽에서 오른쪽 및 중앙에서 측면으로의 배치 이동 지원
소형 T형 안테챔버	챔버 치수	직경: 150 mm, 길이: 300 mm (글로브박스 내부로 100 mm 확장)
	도어 구성	퀵 액팅 압축 클램프가 있는 3× SUS304 도어
	작동 및 트레이	수동 볼 밸브; 고정형 SUS304 스테인리스 스틸 트레이; 아날로그 진공 게이지
	기능	소형 도구, 도가니 및 기판 캐리어를 위한 양방향 챔버 간 이동
표준 미니 안테챔버	챔버 치수	직경: 150 mm, 길이: 300 mm (글로브박스 내부로 100 mm 확장)
	도어 구성 및 제어	이중 블루 클램프 잠금 도어; 수동 밸브 작동; 아날로그 진공 게이지
진공 시스템 및 밸브	로터리 베인 진공 펌프	12 m³/h 배기량, 최종 진공 ≤ 2×10⁻¹ Pa, 오일 미스트 필터 및 가스 밸러스트
	앵글 밸브 및 매니폴드	DN 40 KF 전자 공압식 메인 앵글 밸브; 6-밸브 통합 SUS 솔레노이드 매니폴드
PLC 및 계측	컨트롤러 및 인터페이스	컬러 터치스크린, 비밀번호 보호 및 정전 시 자동 재시작 기능이 있는 지멘스 PLC
	압력 조절	±15 mbar 내에서 자유롭게 조절 가능한 작동 설정값; ±16 mbar에서 자동 안전 트립
	작업자 풋 스위치	핸즈프리 챔버 압력 조절을 위한 양방향 풋 페달
	수분 센서 사양	알루미나 세라믹 박막 프로브; 범위: 0–1000 ppm; 정확도: 0.1 ppm
	산소 센서 사양	전기화학 연료 전지 프로브; 범위: 0–1000 ppm; 정확도: 0.1 ppm

이 제품을 선택해야 하는 이유

엔지니어링된 워크플로우 연속성: 다중 도어 T-안테챔버를 통해 연결된 이중 및 단일 스테이션 챔버의 특수 조합은 화학 준비, 용매 취급 및 민감한 열 코팅을 단일 통합 공간 내에서 분리하여 공정 격리를 가능하게 합니다.
타협 없는 대기 무결성: 고등급 3mm 스테인리스 스틸 구조, 정밀 O-링 플랜지 가공 뷰포트 및 자동 밸브 매니폴드는 ≤0.001 vol%/h의 초저 누설률을 제공하여 다중 사용자 연속 작업 중에도 0.1ppm 미만의 수분 및 산소 기준을 보장합니다.
통합 미세 기후 및 청결도: 일반 글로브박스와 달리 이 시스템은 ISO 4 층류 하향 시스템과 1050W 진동 차단 냉동 유닛을 통합하여 민감한 기판 처리 중 공기 중 입자 결함과 열 대류 변동을 모두 방지합니다.
직접 박막 코터 호환성: 공장에서 가공된 왼쪽 홈과 표준화된 진공 플랜지는 타사 수정의 필요성을 제거하여 열 증발기 및 마그네트론 스퍼터링 유닛을 직접 도킹하여 원활한 진공 이동을 가능하게 합니다.
지능형 진단 및 추적성: 지멘스 기반 자동 재생, 가스 퍼지 제어, 실시간 센서 데이터 로깅 및 프로그래밍 가능한 한계 경보는 완전한 공정 반복성과 학술 및 산업 품질 표준 준수를 보장합니다.

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