에너지 분산 X선 형광(ED-XRF) 기기는 시료에서 방출되는 광자의 특정 에너지 수준을 직접 측정하여 원소를 식별합니다. 반도체 검출기가 이 형광을 포착하여 전기 신호로 변환하고, 이를 처리하여 물질의 고유한 화학적 "지문"을 생성합니다.
핵심 원리는 모든 원소가 고유하고 알려진 에너지 수준에서 형광을 방출한다는 것입니다. 각 들어오는 광자의 에너지를 측정하고 이 계수를 그래프에 표시함으로써 기기는 정확히 어떤 원소가 존재하는지 보여줍니다.
식별 메커니즘
식별 과정은 물리적 원자 반응에서 디지털 신호 처리로 이어지는 정확한 일련의 사건을 포함합니다.
여기 및 형광
이 과정은 기기가 X선 또는 감마선 빔을 시료에 방출하면서 시작됩니다. 이 복사선은 원자를 여기시켜 내부 궤도 껍질에서 전자를 밀어냅니다.
안정성을 회복하기 위해 외부 껍질의 전자가 이동하여 밀려난 내부 전자를 대체합니다. 이 전이는 결합 에너지를 낮추고 과잉 에너지를 형광으로 방출합니다.
반도체 검출기
분광계의 검출기는 이 방출되는 복사선을 실시간으로 수집합니다. 일반적으로 입사광으로부터 형광 X선을 구별하도록 설계된 반도체 검출기입니다.
중요한 것은 검출기가 들어오는 복사선의 에너지에 직접적으로 의존하는 전기 신호를 생성한다는 것입니다. 고에너지 광자는 저에너지 광자보다 더 강한 신호를 생성합니다.
MCA를 통한 신호 정렬
이러한 원시 전기 신호는 다중 채널 분석기(MCA)로 전달됩니다. MCA는 디지털 정렬기 역할을 합니다.
전압(에너지에 해당)을 기준으로 모든 전기 펄스를 특정 "채널" 또는 "빈"으로 분류합니다. 이를 통해 시스템은 특정 에너지 수준에서 검출기에 얼마나 많은 광자가 충돌했는지 계산할 수 있습니다.

스펙트럼 해석
MCA에서 수집된 데이터는 시각적 스펙트럼으로 변환되며, 이는 식별의 주요 도구입니다.
X축: 원소 식별
결과 그래프는 x축에 방출 에너지를 표시합니다. 각 원소는 고유한 전자 껍질 구조를 가지고 있기 때문에 특정하고 예측 가능한 에너지에서 형광을 방출합니다.
따라서 x축을 따라 피크의 위치는 원소를 확실하게 식별합니다(예: 철은 항상 특정 에너지 지점에서 나타납니다).
Y축: 신호 강도
y축은 초당 계수로 측정되는 신호 강도를 나타냅니다. 이는 해당 특정 에너지에서 감지된 복사량입니다.
위치(X)는 무엇이 있는지 알려주고, 피크의 높이(Y)는 얼마나 있는지와 관련이 있습니다.
분석 기능 이해
ED-XRF는 강력한 식별 도구이지만, 데이터 정량화를 처리하는 방법을 이해하는 것은 정확한 결과를 위해 필수적입니다.
표준 없는 분석
ED-XRF의 주요 장점은 매트릭스에 대한 사전 지식 없이 시료를 분석할 수 있다는 것입니다.
기본 매개변수라는 방법을 사용하여 기기는 형광 복사 및 산란 공정에 대한 데이터를 결합하여 농도를 계산할 수 있습니다. 이를 통해 특정 매트릭스 일치 보정 표준 없이도 미지의 시료를 분석할 수 있습니다.
해상도 제한
검출기는 에너지를 직접 측정하기 때문에 기기는 반도체 재료의 해상도에 크게 의존합니다.
시료에 방출 에너지가 매우 가까운 원소가 포함되어 있으면 검출기가 이를 별도의 피크로 구별하는 데 어려움을 겪을 수 있습니다. 이로 인해 스펙트럼 중첩이 발생할 수 있으며, 신호를 해독하기 위해 정교한 소프트웨어가 필요합니다.
목표에 맞는 올바른 선택
ED-XRF는 다목적 도구이지만 데이터를 활용하는 방법은 특정 목표에 따라 달라집니다.
- 주요 초점이 빠른 식별이라면: x축을 따라 피크 위치를 사용하여 에너지 서명을 알려진 원소 데이터와 즉시 상관시키십시오.
- 주요 초점이 미지의 물질 분석이라면: 기본 매개변수 방법을 사용하여 사전 보정된 표준 없이 농도를 정량화하십시오.
스펙트럼을 에너지 지도로 취급함으로써 원시 광자 계수를 모든 시료의 정밀한 원소 분석으로 전환할 수 있습니다.
요약 표:
| 핵심 구성 요소 | ED-XRF 분석에서의 기능 |
|---|---|
| 반도체 검출기 | 들어오는 형광 X선의 에너지를 비례하는 전기 신호로 변환합니다. |
| 다중 채널 분석기(MCA) | 에너지 수준별로 전기 펄스를 정렬하고 계산하여 스펙트럼을 생성합니다. |
| X축(에너지) | 고유하고 알려진 방출 에너지를 기반으로 존재하는 원소를 식별합니다. |
| Y축(강도) | 신호 강도를 기반으로 원소의 농도를 나타냅니다. |
| 기본 매개변수 | 미지의 시료 농도를 표준 없이 정량화할 수 있습니다. |
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